3109 - Peirs Sputtering (PVD) 120 KW-OS Tápegység

A Peirs PVD Sputtering 120 kW-os tápegysége egy nagy teljesítményű feszültségátalakító eszköz, amelyet a vékonyréteg-depozíció (sputtering) folyamatához használnak. A sputtering technológia lehetővé teszi az ultra-vékony rétegek leképzését különböző anyagokból, például fémekből, szigetelő anyagokból és félvezetőkből.

A Peirs 120 kW-os tápegysége a következő jellemzőkkel rendelkezik:

Kimeneti teljesítmény: 120 kW
Bemeneti feszültség: 480 VAC, 3 fázisú
Kimeneti feszültség: 0-1200 VDC
Kimeneti áramerősség: 0-1000 ADC
Teljesítménytényező: 0,97
Befoglaló méret: 1220 mm x 850 mm x 2300mm (magasság).
Súly: 1100 kg.

Védőfunkciók: rövidzárlat, túlterhelés, túlfeszültség
Moduláris felépítésű, amely lehetővé teszi a könnyű karbantartást és a rugalmas bővítést.
Ez a tápegység megbízhatóan és hatékonyan működik a sputtering (PVD) folyamathoz használt magas teljesítményű ionforrásokhoz és a nagy felületű céltáblákhoz is.